罗茨水环真空机组

　　罗茨水环真空机组是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的

　　罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。

干式真空机组

　　无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

　　干式真空机组的应用是非常广泛的，低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

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